在科研、工業(yè)生產(chǎn)及質(zhì)量控制等領(lǐng)域，薄膜厚度的精確測(cè)量至關(guān)重要。Thetametrisis光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x以其高精度、高效率及多功能性，成為薄膜厚度測(cè)量的選擇工具。本文將詳細(xì)介紹它的主要特征，以展現(xiàn)其在薄膜測(cè)量領(lǐng)域的杰出性能。
Thetametrisis
光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x的核心技術(shù)在于白光反射光譜（WLRS），該技術(shù)能夠在從幾埃到幾毫米的超寬范圍內(nèi)，準(zhǔn)確而同時(shí)地測(cè)量堆疊的薄膜和厚膜的厚度及折射率。這一特性使得儀器在測(cè)量多層薄膜結(jié)構(gòu)時(shí)具有顯著優(yōu)勢(shì)，能夠準(zhǔn)確解析各層薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。
在測(cè)量方式上，該儀器采用了先進(jìn)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和光學(xué)探頭直線移動(dòng)掃描技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓片或其他基片涂層的高精度、高速度測(cè)量。通過(guò)極坐標(biāo)掃描，該儀器能夠在極短的時(shí)間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的反射率數(shù)據(jù)，大大提高了測(cè)量效率。
此外，儀器還具備豐富的功能特性。它支持單點(diǎn)分析和動(dòng)態(tài)測(cè)量，能夠?qū)崟r(shí)獲取薄膜的厚度、折射率、顏色等光學(xué)參數(shù)。同時(shí)，儀器內(nèi)置了600多種預(yù)存材料數(shù)據(jù)庫(kù)，方便用戶快速選擇并匹配被測(cè)材料，提高了測(cè)量的準(zhǔn)確性和便捷性。
在安全性方面，儀器采用了防靜電噴涂鋼板和304不銹鋼面板，確保了儀器的穩(wěn)定性和耐用性。同時(shí)，儀器還配備了USB 2.0/3.0通訊接口，方便用戶與計(jì)算機(jī)或其他設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸和遠(yuǎn)程操作。
綜上所述，Thetametrisis光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x以其高精度、高效率、多功能性及安全性等顯著特征，在薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域展現(xiàn)出了杰出的性能。無(wú)論是科研實(shí)驗(yàn)還是工業(yè)生產(chǎn)，該儀器都能為用戶提供可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)和高效的測(cè)量體驗(yàn)。
