光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
光學(xué)輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測，系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。
具有以下優(yōu)點：
1、可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜；
2、無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；
3、可視化3D功能：具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像；
4、適用于各類樣品：適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量；
5、價格優(yōu)勢：市場上具性價比的白光干涉輪廓儀，具有價格優(yōu)勢的高精度輪廓儀；
6、快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達100mm*100mm，可實現(xiàn)大面積樣品的輕松測量；
7、簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；
光學(xué)輪廓儀只需操作者裝好被測器件，在軟件測量界面上設(shè)置好視場參數(shù)，調(diào)整鏡頭到接近器件表面，選擇自動聚焦，儀器會對器件表面進行自動對焦并找到干涉條紋，調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進行掃描測量；掃描結(jié)束后，軟件分析界面自動生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對生成的3D形貌進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
