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簡(jiǎn)要描述：LODAS™ – AI50/100是列真株式會(huì)社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
產(chǎn)品型號(hào)：LODAS™ – AI50/100廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2024-11-09訪 問(wèn) 量： 2446產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
列真株式會(huì)社自創(chuàng)業(yè)以來(lái)，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠(chéng)實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念，為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運(yùn)用激光掃描技術(shù)，專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征：
半導(dǎo)體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評(píng)價(jià)
用微分干涉顯微鏡分析缺陷
檢查對(duì)象：Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi
檢查項(xiàng)目：顆粒、內(nèi)部缺陷（Option）
檢查靈敏度：PDM缺陷尺寸0.1μm（AI00）
定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時(shí)電話(huà)對(duì)應(yīng)，全年無(wú)休的安心支持。
認(rèn)真對(duì)待客戶(hù)新的要求。
召開(kāi)技術(shù)研討會(huì)和充實(shí)各種手冊(cè)，讓顧客能夠自行維護(hù)和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費(fèi)診斷服務(wù)。
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