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電動(dòng)R-Theta平臺(tái)賦能薄膜厚度測(cè)量?jī)x
2025-07-27

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域,薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產(chǎn)品性能與良率。傳統(tǒng)薄膜厚度測(cè)量依賴手動(dòng)定位或固定點(diǎn)檢測(cè),存在效率低、數(shù)據(jù)覆蓋不全、人為誤差大等痛點(diǎn)。而搭載電動(dòng)R-Theta平臺(tái)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x,通過(guò)極坐...

  • 2025-01-13

    光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x是一種基于光學(xué)原理,利用光的反射、折射、干涉等特性,對(duì)物體厚度進(jìn)行高精度測(cè)量的設(shè)備。隨著科技的不斷發(fā)展,光學(xué)厚度測(cè)量技術(shù)在材料科學(xué)、電子制造、涂層檢測(cè)等領(lǐng)域發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。本文將介紹它的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域以及其優(yōu)勢(shì)。一、工作原理光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x的核心原理是基于光的傳播特性,特別是光在不同介質(zhì)中的反射、折射和干涉現(xiàn)象。常見(jiàn)的測(cè)量方式包括:1.反射法:該方法利用光線照射到物體表面后,部分光線被反射回探測(cè)器。通過(guò)分析反射光的強(qiáng)度和相位變化,可以間接推算出物體的厚...

  • 2025-01-09

    膜厚測(cè)量?jī)x是一種廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)和質(zhì)量控制領(lǐng)域的精密儀器,其主要功能在于準(zhǔn)確測(cè)量薄膜、涂層或其他薄層材料的厚度。這種儀器在多個(gè)行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,為產(chǎn)品的性能評(píng)估和質(zhì)量控制提供了有力支持。膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理基于多種物理現(xiàn)象,包括光學(xué)干涉、電磁感應(yīng)、渦流效應(yīng)等。光學(xué)干涉法通過(guò)測(cè)量光波在薄膜表面和底部之間反射和透射的相位差來(lái)計(jì)算厚度;電磁感應(yīng)法則利用測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層時(shí)流入鐵磁基體的磁通大小來(lái)測(cè)定覆層厚度;渦流法則通過(guò)測(cè)量高頻交流信號(hào)在測(cè)頭線圈中產(chǎn)生的電磁場(chǎng)變化...

  • 2025-01-08

    晶圓表面缺陷檢測(cè)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中至關(guān)重要的一步,直接影響到芯片的性能、可靠性和良品率。隨著集成電路(IC)技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶圓尺寸的不斷縮小,缺陷檢測(cè)的難度也隨之增加。因此,精準(zhǔn)、快速的晶圓表面缺陷檢測(cè)技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的研究熱點(diǎn)。一、晶圓表面缺陷的種類晶圓表面缺陷可以分為幾種類型,包括但不限于:1.顆粒污染:由環(huán)境中的塵?;蛟O(shè)備故障引起,可能導(dǎo)致電路短路或斷路。2.劃痕:由機(jī)械摩擦或不當(dāng)操作引起,可能破壞晶圓的結(jié)構(gòu)或影響后續(xù)工藝。3.金屬顆粒:這些微小顆粒的存在可...

  • 2024-12-27

    在科研和工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域,電子顯微鏡作為探索微觀世界的得力工具,其性能的穩(wěn)定性和精確度至關(guān)重要。然而,在實(shí)際應(yīng)用中,電子顯微鏡往往會(huì)受到各種振動(dòng)干擾,尤其是低頻共振頻率的干擾,這會(huì)嚴(yán)重影響其成像質(zhì)量和測(cè)量精度。為了有效應(yīng)對(duì)這一問(wèn)題,電鏡防振臺(tái)應(yīng)運(yùn)而生,成為消除低頻共振干擾的利器。電鏡防振臺(tái)的設(shè)計(jì)原理主要基于振動(dòng)控制和穩(wěn)定技術(shù),它結(jié)合了主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振兩種技術(shù),以最大限度地減少外界振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡的影響。主動(dòng)隔振技術(shù)通過(guò)內(nèi)置的傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)外部振動(dòng)情況,一旦探測(cè)到異常的震動(dòng),就會(huì)...

  • 2024-12-23

    晶圓水平儀在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色。作為一種精密的測(cè)量工具,晶圓水平儀主要用于測(cè)量和調(diào)整晶圓表面的平整度,確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的精確度和穩(wěn)定性。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓是制造半導(dǎo)體集成電路的基礎(chǔ)材料。晶圓的表面平整度對(duì)芯片的制造工藝有著嚴(yán)格的要求,任何微小的瑕疵都可能導(dǎo)致芯片制造的失敗。因此,晶圓水平儀的使用成為確保晶圓質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。晶圓水平儀通過(guò)高精度的傳感器和算法,能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量晶圓表面的微小起伏,并將測(cè)量結(jié)果反饋給制造設(shè)備。制造設(shè)備根據(jù)反饋信息進(jìn)行微調(diào),確保晶...

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