FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無損測量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

Filmetrics F3-sX半導(dǎo)體薄膜測量儀可以測試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測大厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均

Filmetrics F32薄膜厚度測量儀 使用F32可以簡單快速地在線測量膜厚。從對膜的頂部和底部反射光譜進(jìn)行分析可得到實(shí)時厚度信息。

Filmetrics F60薄膜厚度測量儀 電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點(diǎn)，并在幾秒鐘內(nèi)提供厚度測量。 選擇數(shù)十種預(yù)定義的極坐標(biāo)，矩形或線性地圖模式中的一種，或創(chuàng)建自己的地圖模式，不限制測量點(diǎn)的數(shù)量。 典型的49點(diǎn)圖形大約需要45秒。

Filmetrics F40薄膜厚度測量儀 產(chǎn)品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點(diǎn)以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米

Filmetrics F54薄膜厚度測量儀能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點(diǎn)以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米